特气哪些气体

特种气体（Specialty gases）是一类在特定领域应用的气体，具有特殊要求，通常包括高纯气体、电子气体和标准气体。以下是一些常见的特种气体类型：

稀有气体：

氦（He）、氖（Ne）、氩（Ar）、氪（Kr）、氙（Xe）和痕量气体。

卤素气体：

氟（F）、氯（Cl）、溴（Br）、碘（I）、砹（At）。

惰性气体：

氦（He）、氖（Ne）、氩（Ar）、氪（Kr）、氙（Xe）。

碳氢化合物：

甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、丁烷（C4H10）、乙烯（C2H4）、丙烯（C3H6）、丁烯（C4H8）、乙炔（C2H2）、丙炔（C3H4）、丁炔（C4H6）、硫化氢（H2S）等。

金属氧化物：

氧化锌（ZnO）、氧化铝（Al2O3）、氧化铁（Fe2O3）、氧化钙（CaO）等。

其他气体：

二氧化碳（CO2）、二氧化硫（SO2）、氮气（N2）等。

特种气体广泛应用于半导体、微电子、太阳能电池等高科技产业，用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或作为载气和保护气氛。电子特气由于其高纯度要求，在超大规模集成电路（IC）、平面显示器件（LCD、LED、OLED）和太阳能电池等电子工业生产中扮演着至关重要的角色。

特种气体的安全贮运也非常重要，需要按照危险品专车运输，并确保瓶帽配戴正确，以防泄漏和意外发生