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物理气相沉积法和化学气相沉积法的优劣势有哪些

小李谈考试 | 教育先行,筑梦人生!         
问题更新日期:2024-04-20 19:10:00

问题描述

物理气相沉积法和化学气相沉积法的优劣势有哪些,在线求解答
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化学气相沉积过程中有化学反应,多种材料相互反应,生成新的的材料。

物理气相沉积中没有化学反应,材料只是形态有改变。物理气相沉积技术工艺过程简单,对环境改善,无污染,耗材少,成膜均匀致密,与基体的结合力强。缺点膜一基结合力弱,镀膜不耐磨, 并有方 向性化学杂质难以去除。优点可造金属膜、非金属膜,又可按要求制造多成分的合金膜,成膜速度快,膜的绕射性好