什么是微机电系统

微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical Systems）是一种微型化的机械和电子元件的集成系统。这些系统通常在毫米到微米级别，能够感知环境变化（如压力、加速度、温度等），并通过微处理器处理这些信号，产生相应的动作或输出。MEMS技术结合了机械工程、电子工程、材料科学和微纳加工技术，具有微型化、智能化、多功能、高集成度等特点。

MEMS技术广泛应用于多个领域，包括汽车安全气囊中的加速度传感器、航空航天、信息通信、医疗、消费电子、军事等。其制造工艺包括集成电路工艺、微米/纳米制造工艺、小机械工艺等。

简而言之，MEMS是一种先进的制造技术平台，它允许在芯片上集成微电路和微机械，实现传感、执行、处理、储存等多种功能。这项技术不仅对国民经济和军事具有重大影响，而且预计将在21世纪成为新的国民经济增长点，并提高军事能力的重要技术途径